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金属溅射镀膜靶材
金属铝靶材Al，金属锑靶材Sb，金属铋靶材Bi，金属镉靶材Cd，硼靶材B，碳靶材C，热解石墨靶材C，稀土金属铈靶材Ce，金属铬靶材Cr，金属钴靶材Co，金属铜靶材Cu，稀土金属镝靶材Dy，稀土金属铒靶材Er，稀土金属铕靶材Eu，稀土金属钆靶材Gd，锗靶材Ge，金靶材Au，金属铪靶材Hf，稀土金属钬靶材Ho，金属铟靶材In，金属铱靶材Ir，金属铁靶材Fe，金属镧靶材La，金属镥靶材Lu，金属镁靶材Mg，金属锰靶材Mn，难熔金属钼靶材Mo，稀土金属钕靶材Nd，金属镍靶材Ni，难熔金属铌靶材Nb，贵金属钯靶材Pd，贵金属铂靶材Pt，金属镨靶材Pr，金属铼靶材Re，贵金属钌靶材Ru，金属钐靶材Sm，金属硒靶材Se，金属钪靶材Sc，金属银靶材Ag，金属硅靶材Si，难熔金属钽靶材Ta，稀土金属铥靶材Tm，金属锡靶材Sn，金属钛靶材Ti，难熔金属钨靶材W，金属钒靶材V，稀土金属镱靶材Yb，稀土金属钇靶材Y，金属锆靶材Zr，金属锌靶材Zn

合金溅射镀膜靶材

铝铜合金靶材 (Al-Cu),铝就铬合金 靶材(Al-Cr),铝镁合金靶材(Al-Mg),铝硅合金 (Al-Si),铝银合金 (Al-Ag),铈钆合金 (Ce-Gd),铈钐合金 (Ce-Sm),铬硅合金靶材(Cr-Si),钴铬合金靶材 (Co-Cr),钴铁合金 (Co-Fe),钴铁硼合金(Co-Fe-B),铜钴合金 (Cu/Co) ,铜镓合金靶材(Cu-Ga),铜铟合金靶材 (CuIn),铜镍合金靶材 (Cu-Ni),铜锆合金靶材（Cu-Zr)　,铪铁合金（HfFe),铁硼合金 (Fe-B),铁碳合金 (Fe-C),铁锰合金 (Fe-Mn),铱锰合金(Ir-Mn),铱铼合金(Ir-Re),铟锡合金 (In-Sn),钼硅合金靶材 (Mo-Si),镍铝合金靶材(Ni-Al),镍铬合金靶材 (Ni-Cr),镍铬硅合金靶材 (Ni-Cr-Si),镍铁合金靶材 (Ni-Fe),镍铌钛合金靶材 (NiNbTi) ,镍钛合金靶材 (Ni-Ti),镍钒合金靶材 (Ni-V),钐钴合金靶材 (Sm-Co)，银铜合金靶材 (Ag-Cu),银锡合金靶材 (Ag-Sn),钽铝合金靶材(Ta-Al),铽镝铁合金靶材 (TbDyFe),铽铁合金靶材(TbFe),钛铝合金靶材(TiAl),钛镍合金靶材 (TiNi),钛铬合金靶材 (TiCr),钨铼合金靶材(WRe) ,钨钛合金靶材(WTi),锆铝合金靶材(ZrAl), 锆铁合金靶材 (Zr-Fe) ,锆镍合金靶材 (Zr-Ni),锆铌合金靶材(ZrNb),锆钛合金靶材(ZrTi),锆钇合金靶材 (ZrY) ,锌铝合金靶材(ZnAl),锌镁合金靶材 (ZnMg)

陶瓷溅射镀膜靶材


硼化物陶瓷溅射靶材 

硼化二铬陶瓷靶材 (Cr2B)，硼化铬陶瓷靶材 (CrB)，二硼化铬陶瓷靶材 (CrB2)，三硼化五铬陶瓷靶材 (Cr5B3), 硼化铁陶瓷靶材 (FeB)，二硼化铪陶瓷靶材 (HfB2)，六硼化镧陶瓷靶材 (LaB6)，硼化二钼 (Mo2B)，五硼化二钼 (Mo2B5)，硼化铌 (NbB)，二硼化铌 (NbB2)，硼化钽 (TaB),Tantalum Boride (TaB2)，二硼化钛(TiB2)，硼化二钨 (W2B)，硼化钨 (WB)，硼化钒陶瓷靶材 (VB)，二硼化钒陶瓷靶材 (VB2)，二硼化锆陶瓷靶材 (ZrB2) 

碳化物陶瓷溅射靶材 

碳化四硼陶瓷靶材(B4C)，二碳化三铬陶瓷靶材 (Cr3C2)，碳化铪陶瓷靶材(HfC)，碳化二钼陶瓷靶材 (Mo2C)，碳化铌陶瓷靶材 (NbC)，碳化硅陶瓷靶材 (SiC)，碳化钽陶瓷靶材 (TaC)，碳化钛陶瓷靶材(TiC)，碳化钨陶瓷靶材 (WC)，碳化二钨陶瓷靶材 (W2C)，碳化钒陶瓷靶材 (VC)，碳化锆陶瓷靶材 (ZrC) 

氟化物陶瓷溅射靶材 

氟化铝陶瓷靶材(AlF3)，氟化钡陶瓷靶材 (BaF3)，氟化镉陶瓷靶材 (CdF2)，氟化钙陶瓷靶材 (CaF2)，氟化铈陶瓷靶材 (CeF3)，氟化镝陶瓷靶材 (DyF3)，氟化铒陶瓷靶材(ErF3)，氟化铪陶瓷靶材 (HfF4)，氟化钾陶瓷靶材 (KF)，氟化镧陶瓷靶 (LaF3)，氟化铅陶瓷靶(PbF2)，氟化锂陶瓷靶材(LiF)，氟化镨陶瓷靶材 (PrF3)，氟化镁陶瓷靶材(MgF2)，氟化钕陶瓷靶材 (NdF3)，氟化钐陶瓷靶材 (SmF3)，氟化钠陶瓷靶材（NaF)，铝氟酸钠(冰晶石)靶材(Na3AlF6)，氟化锶陶瓷靶材(SrF2)，氟化钍陶瓷靶材 (ThF4)，氟化钇陶瓷靶材 (YF3)，氟化镱(YbF3) 

氮化物陶瓷溅射靶材 

氮化铝陶瓷靶材 (AlN)，氮化硼陶瓷靶材 (BN)，氮化镓陶瓷靶材(GaN), 氮化铪陶瓷靶材(HfN)，氮化铌陶瓷靶材 (NbN)，氮化硅陶瓷靶材 (Si3N4)，氮化钽陶瓷靶材 (TaN)，氮化钛陶瓷靶材 (TiN)，氮化钒陶瓷靶材 (VN)，氮化锆陶瓷靶材 (ZrN) 

氧化物陶瓷溅射靶材

氧化铝陶瓷靶材 (Al2O3),氧化锑陶瓷靶材(Sb2O3),氧化锑掺锡陶瓷靶材(ATO)，钛酸钡陶瓷靶材(BaTiO3)，氧化铋陶瓷靶材(Bi2O3)，氧化铈陶瓷靶材(CeO2),氧化铜陶瓷靶材(CuO),氧化铬陶瓷靶材(Cr2O3),氧化镝陶瓷靶材(Dy2O3),氧化铒陶瓷靶材(Er2O3),氧化铒陶瓷靶材(Eu2O3),氧化钆陶瓷靶材(Gd2O3),氧化镓陶瓷靶材(Ga2O3),氧化锗陶瓷靶材GeO2),二氧化铪陶瓷靶材(HfO2),氧化钬陶瓷靶材(Ho2O3),氧化铟陶瓷靶材(In2O3),氧化铟锡陶瓷靶材(ITO),三氧化二铁陶瓷靶材(Fe2O3),四氧化三铁陶瓷靶材(Fe3O4),氧化镧陶瓷靶材(La2O3),钛酸铅陶瓷靶材(PbTiO3),锆酸铅陶瓷靶材(PbZrO3),铌酸锂靶材(LiNbO3), 铁酸镥陶瓷靶材(Lu3Fe5O12),氧化镥陶瓷靶材(Lu2O3),氧化镁陶瓷靶材(MgO),氧化钼陶瓷靶材(MoO3),氧化钕陶瓷靶材(Nd2O3),氧化镨陶瓷靶材(Pr6O11),钛酸镨陶瓷靶材(Pr(TiO2)2),氧化镨陶瓷靶材(Pr2O3),氧化钐陶瓷靶材(Sm2O3),氧化钪陶瓷靶材(Sc2O3),二氧化硅靶材(SiO2),一氧化硅陶瓷靶材(SiO),钛酸锶陶瓷靶材(SrTiO3),锆酸锶陶瓷靶材(SrZrO3),五氧化二钽陶瓷靶材(Ta2O5),氧化铽陶瓷靶材(Tb4O7),氧化碲陶瓷靶材(TeO2),氧化钍陶瓷靶材(ThO2), 氧化铥陶瓷靶材(Tm2O3),二氧化钛陶瓷靶材(TiO2),一氧化钛陶瓷靶材(TiO),五氧化三钛陶瓷靶材(Ti3O5),三氧化二钛陶瓷靶材(Ti2O3),二氧化锡陶瓷靶材(SnO2),一氧化锡陶瓷靶材(SnO),三氧化钨陶瓷靶材(WO3),五氧化二钒陶瓷靶(V2O5),钇铝石榴石(YAG)Y3Al5O12,三氧化二镱陶瓷靶材 (Yb2O3),氧化钇陶瓷靶材(Y2O3),氧化锌陶瓷靶材(ZnO),掺铝氧化锌陶瓷靶材(ZnO:Al),氧化锆陶瓷靶材(ZrO2)(未掺杂),氧化钙稳定氧化锆陶瓷靶材 (ZrO2-5-15wt%CaO)，氧化钇稳定氧化锆陶瓷靶材（ZrO2：Y2O3)

硒化物陶瓷溅射靶材 

硒化铋陶瓷靶材 (Bi2Se3), 硒化镉溅射靶材 (CdSe),硒化铟溅射靶材 (In2Se3),硒化铅溅射靶材 (PbSe),硒化钼溅射靶材 (MoSe2),硒化铌溅射靶材 (NbSe2),硒化钽溅射靶材 (TaSe2),硒化钨溅射靶材 (WSe2),硒化锌溅射靶材 (ZnSe) 

硅化物陶瓷溅射靶材 

硅化三铬陶瓷溅射靶材 (Cr3Si),二硅化铬陶瓷溅射靶材 (CrSi2),二硅化钴陶瓷靶材(CoSi2), 二硅化铪陶瓷靶材 (HfSi2),二硅化钼陶瓷靶材 (MoSi2),二硅化铌陶瓷靶材(NbSi2),二硅化钽陶瓷靶材 (TaSi2),三硅化五钽陶瓷靶材 (Ta5Si3),二硅化钛陶瓷靶材 (TiSi2),三硅化五钛陶瓷靶材(Ti5Si3),二硅化钨陶瓷靶材(WSi2),硅化三钒陶瓷靶材(V3Si),二硅化钒陶瓷靶材 (VSi2),二硅化锆陶瓷靶材 (ZrSi2) 

硫化物陶瓷溅射靶材 

硫化锑陶瓷靶材 (Sb2S3) ,硫化砷陶瓷靶材 (As2S3),硫化镉陶瓷靶材 ( CdS),硫化铁陶瓷靶材 (FeS),硫化铅陶瓷靶材 (PbS),硫化钼陶瓷靶材(MoS2),硫化铌陶瓷靶材(NbS1.75),硫化钽陶瓷靶材 (TaS2),硫化钨陶瓷靶材(WS2),硫化锌陶瓷靶材 (ZnS),

碲化物陶瓷溅射靶材 

碲化镉陶瓷靶材 (CdTe),碲化铅陶瓷靶材 (PbTe),碲化钼陶瓷靶材 (MoTe2),碲化铌陶瓷靶材 (NbTe2),碲化钽陶瓷靶材 (TaTe2),碲化钨陶瓷靶材 (WTe2),碲化锌陶瓷靶材 (ZnTe)，碲化铟陶瓷靶材(InTe)

其他陶瓷靶材

掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO)，磷化铟靶材(InP)，砷化铅靶材(PbAs)，砷化铟靶材(InAs)
 
纯度： 99%, 99.9%,99.95% 99.99%,99.995% 99.999% and 99.9999%.
形状：板材，圆片，矩形，方形，圆环，圆管，台阶圆片，台阶矩形，其他客户订制
尺寸：直径 (<650mm)，长度 (<1600mm)，宽度 (<500mm)，厚度 (>1mm)
1.蒸发镀膜材料
规格
纯度： 99%-99.999%
形状：不规则块(1-3mm, 3-5mm) , 线材(0.1-5mm), 颗粒，粉末，客户订制，小圆柱，客户订制
应用：光学薄膜，导电薄膜，超导薄膜，保护膜，磁性薄膜，其他功能性薄膜.
1.1  金属蒸发镀膜材料 
铝(Al)，铟(In) ，铅(Pb) ，铂(Pt)，镁(Mg) ，钼(Mo)，锰(Mn) ，镍(Ni) ，铌(Nb) ，硅(Si)，铬(Cr)，钴 (Co)，铜(Cu)，锗(Ge)，金(Au)，铪(Hf)，银(Ag)，铁(Fe)，锡(Sn)，钛(Ti)，钽(Ta)，碲(Te)，钨(W)，锌(Zn)，锆(Zr), 钪 (Sc),镧(La), 铽 (Tb), 镥(Lu), 镝 (Dy), 铒(Er), 钕 (Nd), 镱 (Yb), 铕 (Eu), 钇 (Y), 钆 (Gd), 铥 (Tm), 镨 (Pr)
1.2  氧化物蒸发镀膜材料
氧化铝(Al2O3),氧化钕(Nd2O3),氧化锑(Sb2O3),五氧化二铌(Nb2O5), 氧化锡掺锑(ATO),氧化镨 (Pr6O11),钛酸钡(BaTiO3),钛酸镨(Pr(TiO2)2),氧化铋(Bi2O3),氧化镨 (Pr2O3),二氧化铈(CeO2),氧化钐(Sm2O3),氧化铜 (CuO),氧化钪(Sc2O3),氧化铬(Cr2O3),二氧化硅 (SiO2),氧化镝(Dy2O3),一氧化硅(SiO),氧化铒 (Er2O3),钛酸锶(SrTiO3), 氧化铕(Eu2O3),锆酸锶(SrZrO3), 氧化钆(Gd2O3),五氧化二钽(Ta2O5),氧化镓 (Ga2O3),氧化铽 (Tb4O7), 氧化锗(GeO2), 氧化碲(TeO2), 氧化铪 (HfO2),氧化钍(ThO2), 氧化钬 (Ho2O3),氧化铥(Tm2O3), 氧化铟(In2O3), 二氧化钛 (TiO2),氧化铟锡化合物 (ITO),一氧化钛(TiO),氧化铁(Fe2O3),五氧化三钛(Ti3O5), 四氧化三铁(Fe3O4), 三氧化二钛(Ti2O3), 氧化镧 (La2O3),氧化锡(SnO2), 铝酸镧(LaAlO3), 一氧化锡(SnO), 钛酸铅(PbTiO3), 三氧化钨(WO3), 锆酸铅(PbZrO3), 五氧化二钒(V2O5),铌酸铝 (LiNbO3), 钇铝石榴石(YAG)Y3Al5O12, 氧化锂(LiO), 三氧化二镱(Yb2O3), 钽酸锂(LiTaO3), 三氧化二钇(Y2O3),氧化锌(ZnO),氧化镥(Lu2O3),氧化锌掺铝(ZnO:Al), 氧化镁(MgO), 二氧化锆(ZrO2) (unstabilized), 二氧化锰(MnO2), 氧化钙稳定二氧化锆(ZrO2-5-15wt%CaO), 钛酸镁(MgTiO3), 氧化钇稳定二氧化锆(ZrO2 doped with Y2O3), 氧化钼(MoO3).
1. 3 氟化物蒸发镀膜材料 
氟化铝(AlF3),氟化镨(PrF3), 氟化钡(BaF3),氟化镁(MgF2),氟化铬(CdF2), 氟化钕(NdF3),氟化钙 (CaF2), 氟化铈(CeF3), 氟化钐(SmF3), 氟化镝(DyF3),氟化钠(NaF),氟化铒(ErF3),冰晶石(Cryolite) Na3AlF6, 氟化铪(HfF4), 氟化锶(SrF2),氟化钾(KF),氟化钍(ThF4), 氟化镧(LaF3),氟化钇(YF3),氟化铅 (PbF2), 氟化镱(YbF3),氟化锂(LiF)
1. 4.  其他蒸发镀膜材料 
氮化铝(AlN), 钛酸镁(MgTiO3), 铁酸钡(BaFeO3), 氮化铌 (NbN), 钛酸钡(BaTiO3),锑化铟(InSb), 钛酸铋(BiTiO3), 钛酸镨(PrTiO3), 氮化硼(BN), 氮化硅(Si3N4), 硫化镉(CdS),碳化硅(SiC), 碲化镉(CdTe), 钛酸锶 (SrTiO3),镀铬钨条 , 氮化钽(TaN), 冰晶石 (Na3AlF6), 碳化钽(TaC), 砷化镓(GaAs), 二硼化钛(TiB2),  氮化铪(HfN), 碳化钛(TiC), 硼化铁(FeB), 氮化钛(TiN), 铝酸镧(LaAlO3), 碲化铅(PbTe), 碳化钨(WC), 六硼化镧 (LaB6), 铁酸钇(YFe2O3), 钽酸锂(LiTaO3), YBC,  钛酸镧(LaTiO3), 硒化锌(ZnSe), 铌酸锂(LiNbO3), 碲化锌 (ZnTe), 硫化铅(PbS), 硫化锌(ZnS) 
1.5  混合物镀膜材料 
氧化铝+氧化镁  (Al2O3+MgO  1:1)
氧化铝+氧化锆  (Al2O3 +ZrO2 6:4) 
氧化锑+氧化锡  (Sb2O3+SnO2  9:1)  (ATO)
氧化锑+氧化锌   (ZnO+Al2O3)   (AZO)
氟化钙+氟化铈  (CaF2 +CeF3 1:1) 
氧化铟+氧化锡 (In2O3+SnO2  90:10 95:5 65:35)   (ITO)
五氧化二铌+二氧化钛  (TiO2+  Nb2O5  7:3) 
五氧化二钽+二氧化钛  (Ta2O5+ TiO2 1:1) 
五氧化二钽+二氧化锆  (Ta2O5+ ZrO2  3:7) 
二氧化钛+二氧化锆 (TiO2+ ZrO2 1:1) 
三氧化二钇+二氧化锆 (Y2O3+ ZrO2  1:4) 
2.  蒸发镀膜辅助材料 
2.1  蒸发用坩埚     氮化硼坩埚 (BN), 铜坩埚(Cu) , 石墨坩埚 (C), 金 (Au), 钼坩埚 (Mo), 铌坩埚 (Nb), 铂金坩埚(Pt) , 二氧化硅坩埚 (SiO2), 钽坩埚 (Ta), 钨坩埚(W), 二硼化钛坩埚 (TiB2), 三氧化二铝坩埚(Al2O3), 二硼化锆坩埚 (ZrB2), 二氧化锆坩埚 (ZrO2)
2.2 蒸发舟 钽舟(Ta), 氧化铝舟(Al2O3),铂金舟(Pt), 钼舟(Mo),钨舟(W),硼化钛舟(TiB2)，
2.3 其他蒸发源   钨丝，钼片